簡要描述：■ 6?位測量分辨率■ 5.0寸電容式觸摸屏■ 電流分辨率達0.01fA(10-17A)■ 測量電阻高達1000PΩ(1018Ω)■ 內置電壓源：±1000V，分辨率：700μV■ 支持電壓測量達20V■ 低至2nC量程的電荷測量■ 溫度和濕度測量■ 四種測量模式：高阻儀、電壓表、電流表、靜電計■ 獨立的電流和電壓測量■ 輸入阻抗200TΩ■ 電流量程：2pA-20mA，電流分辨率達0.01fA(10-17A)■ 電流量程內的內阻壓降＜20μV■ 時域視圖，捕獲瞬態信號效應和選擇測量數據■ 支持數據記錄■ 配置專用屏蔽測試盒
更新時間：2023-11-30
產品型號：
所屬分類：高阻計/飛安計/皮安計
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TH2690系列飛安表/皮安表/靜電計/高阻計提供了行業的測量功能。飛安表/靜電計具有0.01fA(10-17A)最小電流分辨率，可滿足大部分場景的微弱電流測量需求。高阻計內置的1000V電壓源支持測量高達1000PΩ(1018Ω)的電阻。
針對不同的測試對象和測試環境，同惠還提供各種適配的附件。
與傳統的皮安表和高阻計不同，TH2690系列采用5吋彩色LCD電容觸摸屏，使操作更直觀便捷。 TH2690系列還提供多種視圖模式以便用戶觀察數據。除數字格式外，測量數據還可以轉換為直方圖及趨勢圖的形式，使用戶能即時查看測量數據的分布規律或變化趨勢。
TH2690系列提供六種型號，用戶可以根據實際測試需求靈活地選購適當的儀器。
快速選型 | TH2690 | TH2690A | TH2690H | TH2691 | TH2691A | TH2691H |
測量分辨 | 6?位 | |||||
電流分辨率 | 0.1fA | 0.01pA | 0.01fA | 0.1fA | 0.01pA | 0.01fA |
電阻 | 100PΩ | 1PΩ | 1000PΩ | - | - | - |
電荷測量 | 1fC-2μC | - | 1fC-2μC | - | - | - |
溫濕度測量 | √ | - | √ | - | - | - |
電壓源 | ±1000V | - | - | - | ||
電壓分辨率 | 1μV | - | - | - | ||
材料特征測試
半導體、納米材料、聚合物材料、介質材料、電化學材料、鐵電材料、石墨烯、陶瓷、生物材料、橡膠、薄膜、金屬、有機材料等
電子元器件泄漏電流和絕緣電阻測試
電容器、電阻器、二極管、晶體管、傳感器、TFT和CNT等類型、光電器件、納米器件、太陽能電池、開關、繼電器等
電子/非電子系統
離子束、電子束、傳感系統、粒子測量、嵌入式精密儀器等
半導體和其它器件I-V特性測量
體電阻/表面電阻率測量
功能特點
1.0.01fA的電流測量分辨率
在研究材料特性或判定器件性能時，經常需要測量fA/PΩ等極限電流、電阻，而傳統的數字萬用表（DMM）無法達到，TH2690系列飛安表/靜電計提供了行業的0.01fA電流測量分辨率及1000PΩ電阻測量，實現了材料測量，可滿足現在及將來的測量需求。
2.10,000讀數/秒的數據讀取速率
測量速度一般由積分設置中的積分周期決定，積分周期通常為工頻周期(PLC)的整數倍。在能夠提供充足的平均次數來避免工頻噪聲對測量的影響的前提下，積分周期顯然越短越好。
由于傳統儀器的讀取速率相對緩慢，無法捕獲到快速瞬態信號。TH2690系列數據讀取速率可達10,000讀數/秒，可捕獲到更精細的被測器件響應。
3.統計圖顯示
TH2690系列可以將測試結果在主界面以圖形方式實時地顯示，展示被測件（DUT）的動態特性。圖形分曲線圖和直方圖兩種。
下圖為設置界面
1） 曲線圖(時基視圖)顯示
TH2690可以便捷地繪制多種曲線圖，包括I-t、V-t、R-t、Q-t和I-R等(特定的圖形顯示功能取決于所使用的產品型號)。進行敏感測量時，這種強大且全面的圖形顯示能力可使您更容易地獲取有價值的數據。
2） 直方圖顯示
任何測量環境中都會存在一定的噪聲波動，因此低電平測量數據都會帶有一定的統計不確定性。傳統的處理方法是在測量結束后繪制直方圖對測量數據進行評估(通常在電腦上)。然而，如果您需要執行多次測量和測試設置調試周期，這個過程將會變得冗長。
TH2690系列具有實時的、自動標尺的直方圖顯示功能，使您能及時調試測量設置而無需在測量后再進行數據處理。直方圖顯示于測量數據之下，方便您對比直方圖上的累積數據與實時測量數據。
4.掃描輸出
TH2690可以設定輸出單階梯波、雙階梯波、方波以及自定義列表輸出。點擊設定-源設定選項卡進行設定。設定界面分別如下：
5.分選功能
TH2690可以對測試結果進行判定分選。有分級（Grading）和分類（Sorting）兩種模式可選，最多可設置7個判定條件。設定界面如右圖：
其中分級（Grading）模式是指執行極限判定直到遇到失敗跳出，輸出當前失敗位，否則繼續下一個極限判定，若全部合格，則輸出個合格位。
分類（Sorting）模式是指執行極限判定直到遇到合格跳出，輸出當前合格位，否則繼續下一個極限判定，若全部失敗，則輸出個失敗位。
6.HANDLER接口定義
1,2,3為信號輸入腳，對應上圖IN1，IN2，IN3。可以改變信號定義。
4,5,6,7為信號輸出腳，對應上圖OUT4，OUT5，OUT6，OUT7。可以改變信號輸出模式。
7.錯誤信息
當儀器出現操作失誤或儀器自檢出錯等問題時，在儀器下方信息欄會報錯，點擊工具-錯誤信息圖標，在此處可查看報警信息，可根據提示進行消除錯誤。
8.專用溫濕度探頭提供更可靠的溫濕度數據
溫度和濕度是高值電阻測量中的關鍵參數。TH2690、TH2690H高阻計提供溫濕度傳感器接口，并配置了專用的溫濕度探頭。數字溫濕度探頭可用于測定溫度和濕度，提供比熱電偶更精確的溫度數據。
9.多種附件應對不同的測試環境和被測件
TH2690配備了多種可選附件，以適配不同的被測件，進一步提升其測試效果。主要包括電阻率測試盒和元件測試夾具。
電阻率測試盒配備多種尺寸的電極，可以用于測量不同規格材料的面電阻率和體電阻率。
元件測試夾具配備多種測試模塊，以應對貼片器件、軸向引線器件等多種封裝的測量
10. 電阻率測量（選件）
TH2690系列可選配TH26090選件，進行電阻率測量。
a) 方案配置：
序號 | 型號 | 名稱 | 必選項 | 備注 |
1 | TH2690 | 飛安表/靜電計/高阻計主機 | R | |
2 | TH26090 | 電阻率測試盒 | R | 選件 |
3 | 備注 | TH2690固件升級至 |
b) TH26090電阻率測試盒
功能 | 說明 |
測試電壓 | 0-±1000V |
測試電極 | Φ26mm、Φ38mm、Φ50mm（標配），共3種可選 |
測試電流 | 0-10mA |
接觸壓力 | ≤10kg |
測量參數 | 表面電阻Rs、表面電阻率ρs、體電阻Rv、體電阻率ρv |
c) 體積電阻Rv、體積電阻率ρv測量
將電壓源Vs施加到上電極，流經測試樣品的大電流為Im，隨后體積電阻Rv用公式Rv=Vs/Im計算。
從測試樣品流向保護電極的大電流和從上電極流向保護電極的表面電流都屬于泄露電流；然而這些電流都會進入Vs的低側，不會對用于計算Rv的電流表電流(Im)的大小造成影響。
體積電阻率ρv可用公式ρv=EAR/STHxRv計算出，其中:
EAR = Effective area 有效面積
STH = Sample thickness 樣品厚度。
a) 表面電阻Rs、表面電阻率ρs測量
將電壓源Vs施加到護環電極，在測試樣品表面上的電流從保護電極流向主電極，表面電流被為Im。表面電阻Rs可用公式Rs=Vs/Im計算。
從護環流向上電極的電流是泄露電流；然而這個電流會流入Vs的低側，不會對用于計算Rv的電流表電流(Im)的大小造成影響。
表面電阻可用公式ρs=EPER/GLENxRs計算出，其中:
EPER = Effective perimeter 有效周長
GLEN = Gap length 間隔長度
技術參數
產品型號 | TH2690 | TH2690A | TH2690H | TH2691 | TH2691A | TH2691H | |||||||
顯示 | |||||||||||||
顯示器 | 5.0寸電容式觸摸彩色LCD顯示器 | ||||||||||||
測量分辨率 | 6?位 | ||||||||||||
電流測量 | |||||||||||||
量程 | 精度 | 分辨率 | 精度 | 分辨率 | 精度 | 分辨率 | 精度 | 分辨率 | 精度 | 分辨率 | 精度 | 分辨率 | |
2pA | ------ | ------ | ------ | ------ | ±(1%+5fA) | 0.01fA | ------ | ------ | ------ | ------ | ±(1%+5fA) | 0.01fA | |
20pA | ±(1%+5fA) | 0.1fA | ------ | ------ | ±(1%+5fA) | 0.1fA | ±(1%+5fA) | 0.1fA | ------ | ------ | ±(1%+5fA) | 0.1fA | |
200pA | ±(0.5%+5fA) | 0.1fA | ------ | ------ | ±(0.5%+5fA) | 0.1fA | ±(0.5%+5fA) | 0.1fA | ------ | ------ | ±(0.5%+5fA) | 0.1fA | |
2nA | ±(0.2%+50fA) | 1fA | ±(0.2%+50fA) | 1fA | ±(0.2%+50fA) | 1fA | ±(0.2%+50fA) | 1fA | ±(0.2%+50fA) | 1fA | ±(0.2%+50fA) | 1fA | |
20nA | ±(0.2%+3pA) | 10fA | ±(0.2%+3pA) | 10fA | ±(0.2%+3pA) | 10fA | ±(0.2%+3pA) | 10fA | ±(0.2%+3pA) | 10fA | ±(0.2%+3pA) | 10fA | |
200nA | ±(0.2%+5pA) | 100fA | ±(0.2%+5pA) | 100fA | ±(0.2%+5pA) | 100fA | ±(0.2%+5pA) | 100fA | ±(0.2%+5pA) | 100fA | ±(0.2%+5pA) | 100fA | |
2μA | ±(0.1%+50pA) | 1pA | ±(0.1%+50pA) | 1pA | ±(0.1%+50pA) | 1pA | ±(0.1%+50pA) | 1pA | ±(0.1%+50pA) | 1pA | ±(0.1%+50pA) | 1pA | |
20μA | ±(0.05%+500pA) | 10pA | ±(0.05%+500pA) | 10pA | ±(0.05%+500pA) | 10pA | ±(0.05%+500pA) | 10pA | ±(0.05%+500pA) | 10pA | ±(0.05%+500pA) | 10pA | |
200μA | ±(0.05%+5nA) | 100pA | ±(0.05%+5nA) | 100pA | ±(0.05%+5nA) | 100pA | ±(0.05%+5nA) | 100pA | ±(0.05%+5nA) | 100pA | ±(0.05%+5nA) | 100pA | |
2mA | ±(0.05%+50nA) | 1nA | ±(0.05%+50nA) | 1nA | ±(0.05%+50nA) | 1nA | ±(0.05%+50nA) | 1nA | ±(0.05%+50nA) | 1nA | ±(0.05%+50nA) | 1nA | |
20mA | ±(0.05%+500nA) | 10nA | ±(0.05%+500nA) | 10nA | ±(0.05%+500nA) | 10nA | ±(0.05%+500nA) | 10nA | ±(0.05%+500nA) | 10nA | ±(0.05%+500nA) | 10nA | |
電阻測量 | |||||||||||||
量程 | 精度 | 分辨率 | 精度 | 分辨率 | 精度 | 分辨率 | ------ | ||||||
1MΩ | ±(0.135%+1Ω) | 1Ω | ±(0.135%+1Ω) | 1Ω | ±(0.135%+1Ω) | 1Ω | ------ | ||||||
10MΩ | ±(0.135%+10Ω) | 10Ω | ±(0.135%+10Ω) | 10Ω | ±(0.135%+10Ω) | 10Ω | ------ | ||||||
100MΩ | ±(0.185%+100Ω) | 100Ω | ±(0.185%+100Ω) | 100Ω | ±(0.185%+100Ω) | 100Ω | ------ | ||||||
1GΩ | ±(0.285%+1kΩ) | 1kΩ | ±(0.285%+1kΩ) | 1kΩ | ±(0.285%+1kΩ) | 1kΩ | ------ | ||||||
10GΩ | ±(0.41%+10kΩ) | 10kΩ | ±(0.41%+10kΩ) | 10kΩ | ±(0.41%+10kΩ) | 10kΩ | ------ | ||||||
100GΩ | ±(0.41%+100kΩ) | 100kΩ | ±(0.41%+100kΩ) | 100kΩ | ±(0.41%+100kΩ) | 100kΩ | ------ | ||||||
1TΩ | ±(0.45%+1MΩ) | 1MΩ | ±(0.45%+1MΩ) | 1MΩ | ±(0.45%+1MΩ) | 1MΩ | ------ | ||||||
10TΩ | ±(0.75%+10MΩ) | 10MΩ | ------ | ------ | ±(0.75%+10MΩ) | 10MΩ | ------ | ||||||
100TΩ | ±(2.6%+100MΩ) | 100MΩ | ------ | ------ | ±(0.75%+100MΩ) | 100MΩ | ------ | ||||||
1PΩ | ------ | ------ | ------ | ------ | (2.6%+1GΩ) | 1GΩ | ------ | ||||||
量程 | 電流量程 | 電壓源 | 電流量程 | 電壓源 | 電流量程 | 電壓源 | ------ | ||||||
1MΩ | 200μA | 20V | 200μA | 20V | 200μA | 20V | ------ | ||||||
10MΩ | 20μA | 20V | 20μA | 20V | 20μA | 20V | ------ | ||||||
100MΩ | 2μA | 20V | 2μA | 20V | 2μA | 20V | ------ | ||||||
1GΩ | 200nA | 20V | 200nA | 20V | 200nA | 20V | ------ | ||||||
10GΩ | 20nA | 20V | 20nA | 20V | 20nA | 20V | ------ | ||||||
100GΩ | 2nA | 20V | 2nA | 20V | 2nA | 20V | ------ | ||||||
1TΩ | 2nA | 200V | 2nA | 200V | 2nA | 200V | ------ | ||||||
10TΩ | 200pA | 200V | ------ | ------ | 200pA | 200V | ------ | ||||||
100TΩ | 20pA | 200V | ------ | ------ | 20pA | 200V | ------ | ||||||
測量電阻 | 100PΩ | 1000TΩ | 1000PΩ | ------ | |||||||||
電壓測量（獨立輸入單元) | |||||||||||||
量程 | 精度 | 分辨率 | ------ | ||||||||||
2V | ±(0.05%+40μV) | 1μV | ------ | ||||||||||
20V | ±(0.05%+400μV) | 10μV | ------ | ||||||||||
輸入阻抗 | >200TΩ | ------ | |||||||||||
電荷測量（指標在1s內有效） | |||||||||||||
量程 | 精度 | 分辨率 | ------ | 精度 | 分辨率 | ------ | |||||||
2nC | ±(0.5%+50fC) | 1fC | ------ | ±(0.5%+50fC) | 1fC | ------ | |||||||
20nC | ±(0.5%+500fC) | 10fC | ------ | ±(0.5%+500fC) | 10fC | ------ | |||||||
200nC | ±(0.5%+5pC) | 100fC | ------ | ±(0.5%+5pC) | 100fC | ------ | |||||||
2μC | ±(0.5%+50pC) | 1pC | ------ | ±(0.5%+50pC) | 1pC | ------ | |||||||
電壓源 | |||||||||||||
量程 | 精度 | 分辨率 | ------ | ||||||||||
20V | ±(0.05%+2mV) | 700μV | ------ | ||||||||||
1000V | ±(0.05%+100mV) | 35mV | ------ | ||||||||||
量程 | 輸出電流 | ------ | |||||||||||
20V | ±20mA | ------ | |||||||||||
1000V | ±1mA | ------ | |||||||||||
電壓源功能 | 直流、掃描(單掃描、雙掃描、列表掃描)、ARB(方波) | ------ | |||||||||||
溫度測量范圍及精度 | |||||||||||||
-40℃-10℃ | 1℃ | ------ | |||||||||||
10℃-55℃ | 0.5℃ | ------ | |||||||||||
55℃-80℃ | 1℃ | ------ | |||||||||||
濕度測量范圍及精度 | |||||||||||||
0-20%RH | 4％ | ------ | |||||||||||
20-80％RH | 3％ | ------ | |||||||||||
80-99%RH | 4％ | ------ | |||||||||||
視圖模式 | 儀表視圖、圖形視圖、直方圖、滾動視圖 | ||||||||||||
測試端子 | |||||||||||||
電壓輸入 | 三軸BNC | ------ | |||||||||||
電流輸入 | 三軸BNC | ||||||||||||
電壓輸出 | √ | ------ | |||||||||||
COMMON | √ | ||||||||||||
GROUND | 香蕉座 | ||||||||||||
接口 | |||||||||||||
D/A輸出 | ±2VFS | ||||||||||||
HANDLER | √ | ||||||||||||
通訊接口 | RS232、USB DEVICE、USB HOST、LAN、GPIB | ||||||||||||
傳感器輸入 | 溫濕度 | ------ | |||||||||||
互鎖輸入 | √ | ------ | |||||||||||
環境溫度與濕度 | |||||||||||||
使用溫濕度范圍 | 0°C--45°C，30%--80%，無冷凝 | ||||||||||||
存放溫濕度范圍 | -20°C--60°C，10%--90%，無冷凝 | ||||||||||||
精度保證溫濕度 | 23℃±5℃，30%-80%RH | ||||||||||||
預熱時間 | 1小時 | ||||||||||||
環境溫度變化 | 自校準后小于±3℃ | ||||||||||||
校準周期 | 1年 | ||||||||||||
一般指標 | |||||||||||||
電源 | AC：90V-264V,50/60Hz；或DC：127V-370V | ||||||||||||
功率 | 60W | ||||||||||||
上架尺寸 | 215(W)×88(H)×412(D) | ||||||||||||
外形尺寸 | 235(W)×111(H)×440(D) | ||||||||||||
重量 | 3.5kg | ||||||||||||
| 標配 | |||||
| 配件名稱 | 型號 | ||||
| 選配 | |||||
| 配件名稱 | 型號 | ||||
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